微納電子技術簡介
《微納電子技術》雜志是由信息產業部主管,電子十三所主辦的自然科學、技術類期刊,是由國家新聞出版署批準公開發行的中國第一家有關納米技術的刊物。《微納電子技術》雜志是由1964年創刊的《半導體情報》改刊后,于2002年1月創刊的。本刊曾用刊名:半導體情報。
微納電子技術期刊宗旨
雜志以宣傳、介紹和交流21世紀最有希望的納米技術中的納米電子學、納米電子器件、納米材料和納米測量技術、MEMS器件與技術為主要內容,兼顧納米技術的推廣和應用技術,同時對國內外納米材料和器件研究的最新發現、發明、研究和制造給予跟蹤和及時報道。
微納電子技術欄目
專家論談、納米器件與技術、納米材料與納料結構、MEMS器件與技術、顯微、測量、微細加工技術與設備、企業與人物追蹤、業界快訊等。
微納電子技術目錄
兩點量子元胞自動機邏輯電路設計與仿真汪志春
磁流變液的制備及其表面張力系數的實驗研究吳繼榮
InP在太陽電池中的應用及進展李玉茹
離心芯片上虹吸閥的設計與制備楊儒元
MEMS自供能壓電電磁集成發電研究現狀杜小振
溶解氧傳感器研究進展尚景玉
電共軛液的應用現狀李丹
一種高效低成本制作三維聚焦微流溝道的方法楊潞霞
先導光刻中的光學鄰近效應修正韋亞一
無氨氮化硅薄膜在MEMS硅腐蝕中的應用胥超
MEMS加速度計可靠性評價技術張瑞霞
鄭重聲明
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